特許
J-GLOBAL ID：200903030000226523
変位感知機能を備えたカンチレバーユニットとその変位測定回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117328
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313546
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】応力や温度による誤差を含まない変位信号を出力する、変位感知機能を備えたカンチレバーユニットとその変位測定回路を提供する。【構成】カンチレバーユニットは、支持部材20、支持部材20に支持されたV字形状のカンチレバー12、支持部材20に設けられた二つの抵抗素子22と24を備えている。カンチレバー12は、絶縁物質からなるレバー部14と、その下面に設けられた下側圧電抵抗層16と、上面に設けられた上側圧電抵抗層18とから構成されている。下側圧電抵抗層16と上側圧電抵抗層18は、同一の材料によって同じ形状、同じ厚さに作られており、両者は同じ特性を有している。抵抗素子22と24の抵抗値は同じで、これらは圧電抵抗層16と18の抵抗値に等しい。二つの圧電抵抗層16、18と二つの抵抗素子22、24は、配線によって相互に接続され、ホイトストーンブリッジを構成している。
請求項（抜粋）：
変位感知機能を備えたカンチレバーユニットであって、支持部から延びた絶縁性のレバー部と、レバー部の下側面に設けられたループ状の下側圧電抵抗層で、レバー部の先端を通り、両端がレバー部の固定端に位置している下側圧電抵抗層と、レバー部の上側面に設けられたループ状の上側圧電抵抗層で、下側圧電抵抗層と同じ形状かつ同じ特性の上側圧電抵抗層と、レバー部の固定端近くの支持部に設けられた二つの抵抗素子で、共に圧電抵抗層と同じ抵抗値を持つ二つの抵抗素子とを有し、二つの圧電抵抗層と二つの抵抗素子が、二つの圧電抵抗層の連結したホイトストーンブリッジを構成している、変位感知機能を備えたカンチレバーユニット。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01R 17/12
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, G01R 17/12 A
, H01J 37/28 Z
