特許

J-GLOBAL ID：200903030002611505

搬送装置及び搬送方法、露光装置

発明者： 小暮 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-061506
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273702
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】大型ガラス基板等の基板を搬送する際、基板を破損することなく所定位置に対して良好に位置合わせした状態で搬送できる搬送装置を提供する。【解決手段】基板Pを搬送トレイTに載置して搬送する搬送装置は、搬送トレイTに対する基板Pの位置を検出する検出装置13と、搬送トレイTと基板Pとの位置関係を調整するステージ装置6と、搬送トレイTに基板Pを載置して基板Pを搬送する搬送部とを備えている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板を搬送トレイに載置して前記基板を搬送する搬送装置において、 前記搬送トレイに対する前記基板の位置を検出する検出手段と、 前記搬送トレイと前記基板との位置関係を調整する位置調整手段と、 前記搬送トレイに前記基板を載置して該基板を搬送する搬送手段とを備えることを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (5件)：

H01L21/68 F ,  H01L21/68 U ,  B65G49/06 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502J

Fターム (28件)：

5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031EA02 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA20 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD10