シート状物の側縁検査装置及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171383
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004326
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】支持体上に塗布膜を形成した被検査体に対して、支持体の側縁及び塗布膜の側端を高精度で識別する。【解決手段】ウエブ10は透明な支持体11上に塗布膜14を形成してなり、バックアップローラ13の周面に圧着した状態で連続走行される。バックアップローラ13の周上にあるウエブ10の検査部21,22に検査光が照射され、検査部21,22での反射光の輝度分布に基づいて、支持体11の側縁11a,11b及び塗布膜14の側端14a,14bが識別される。バックアップローラ13の周面には、支持体11の両側縁11a,11bから突出した両端部に低反射面15が形成される。ローラ面での検査光の反射が抑えられ、支持体面での反射光との輝度差が大きくなる。

請求項（抜粋）：

シート状をした支持体の表面に塗布膜を形成してなる被検査体をバックアップローラの周面に圧着させて連続走行させ、バックアップローラの周上にある被検査体の検査部に投光器からの検査光を照射するとともに、検査部で反射した検査光を受光器により光電検出し、この検出信号に基づいて支持体及び塗布膜の側縁位置を検出する検査装置において、前記バックアップローラは、支持体の幅よりも長く、その両端部を支持体の両側縁から突出させた状態で配置され、支持体の両側縁から突出した前記両端部の周面に、光反射性の低い低反射面が形成されていることを特徴とするシート状物の側縁検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 , G01B 11/04 101 , G01B 11/24 , G01N 21/89 , G01N 21/894

FI (6件)：

G01B 11/00 H , G01B 11/04 101 H , G01N 21/89 Z , G01N 21/894 A , G01B 11/24 K , G01B 11/24 G

Fターム (57件)：

2F065AA12 , 2F065AA22 , 2F065AA51 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065CC31 , 2F065DD09 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG13 , 2F065GG21 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ17 , 2F065JJ18 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL21 , 2F065MM03 , 2F065NN19 , 2F065NN20 , 2F065PP16 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ07 , 2F065QQ08 , 2F065QQ13 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065QQ28 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065QQ51 , 2F065RR08 , 2F065SS09 , 2G051AA32 , 2G051AB20 , 2G051BA01 , 2G051BA06 , 2G051BB01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC02

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