特許

J-GLOBAL ID：200903030013066258

走査電子顕微鏡等の対物レンズ

発明者： 数森 啓悦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329280
公開番号（公開出願番号）：特開2000-156191
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 用途に応じて適切な軸上磁場分布を形成することができる走査電子顕微鏡等の対物レンズを実現する。【解決手段】 図3の状態は対物レンズ11がセミインレンズタイプの対物レンズとして動作する状態であり、励磁コイル14に励磁電流を流すと、対物レンズ11は強く励磁され、試料15表面近傍に点線で示すごとく軸上磁場分布Mのピークが形成される。この結果対物レンズ11の収差係数を小さくでき、電子ビームEBを試料上に極めて細く集束することができる。次に、試料が磁化しやすい場合等、対物レンズを通常の形状としたい場合、駆動機構19が駆動され、筒体16とこの筒体と一体化された内側磁極片12が光軸に沿って上方に移動させられる。また、駆動機構21が駆動され、リング状の補助磁極片20が光軸上に移動させられる。

請求項（抜粋）：

内側磁極片と、外側磁極片と、励磁コイルとを備えた走査電子顕微鏡等の対物レンズにおいて、内側磁極片と外側磁極片とを相対的に光軸に沿って移動可能に構成すると共に、外側磁極片の下部に補助磁極片を選択的に配置できるように構成した走査電子顕微鏡等の対物レンズ。

IPC (2件)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/153

FI (2件)：

H01J 37/141 A ,  H01J 37/153 B

Fターム (2件)：

5C033DD05 ,  5C033DD09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-003357
  
• 特開昭54-133069