特許
J-GLOBAL ID：200903030018897492
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-174167
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021769
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 固体撮像素子における光の集中度及び感度を向上させる。【構成】 第1のレンズ層3の上に第2のレンズ層4が軟化処理を施されて形成されている。第1のレンズ層3を帯状に形成し、その長手方向の一部に重畳する状態で第2のレンズ層4を形成しておき、第2のレンズ層4を軟化させる際に、第1のレンズ層3の幅方向両側で垂らした状態にさせ、第1のレンズ層3の長手方向両側は第1のレンズ層3の上に留まるようにする。これにより第2のレンズ層4の一方向断面における曲面が平坦な基板1上に形成され、他の方向断面における曲面が平坦な第1のレンズ層3の上に形成される。よって、2方向におけるマイクロレンズの基板1からの高さが同一であっても、第1のレンズ層3の厚みを変えることにより、一つの方向における曲率が決まる第2のレンズ層4の高さを変えることができる。第2のレンズ層2の高さを前記一つの方向の曲率に関連する幅に応じた値にすることにより、その幅が他の一つの方向における幅と異なっても2方向の曲率を同一に揃えることができる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された受光部の上方にマイクロレンズが設けられた固体撮像素子において、該マイクロレンズが基板上に形成された第1のレンズ層と、該第1のレンズ層の上に形成された第2のレンズ層とで構成され、少なくとも該第2のレンズ層が軟化処理を施された固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H04N 5/335
