セル駆動型マイクロポンプ部材及び製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206368
公開番号（公開出願番号）：特開2003-072061
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】高温加熱プロセスが適用出来、低コストで量産可能であって、スリット部分が直線形状以外のセルを有し、スリット部分が60μm以下の幅のセルを有し、又、高アスペクト比なセルを有し、高い電界強度で駆動出来得て、更には、小さな電界強度で、より大きな変位とより速い応答性を両立し得る、マイクロポンプ部材と、その製造方法を提供すること。【解決手段】基体2内部に形成された複数のセル3を加圧室46として用い、加圧室46を形成する側壁6を圧電/電歪体により構成し、圧電/電歪体の変位により加圧室46の体積を変化させて加圧室46に圧力を生じせしめるマイクロポンプ部材であって、加圧室46が、隣接する加圧室46と独立して形成されているセル駆動型マイクロポンプ部材44の提供による。

請求項（抜粋）：

基体内部に形成された複数のセルを加圧室として用い、前記加圧室を形成する側壁を圧電/電歪体により構成し、前記圧電/電歪体の変位により前記加圧室の体積を変化させて加圧室に圧力を生じせしめるマイクロポンプ部材であって、前記加圧室が、隣接する加圧室と独立して形成されていることを特徴とするセル駆動型マイクロポンプ部材。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Fターム (7件)：

2C057AF51 , 2C057AF93 , 2C057AG47 , 2C057AG59 , 2C057AP22 , 2C057BA03 , 2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-127789 出願人：シチズン時計株式会社

審査官引用 (1件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-127789 出願人：シチズン時計株式会社

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