特許

J-GLOBAL ID：200903030024649158

改良型フォトレジスト組成物

発明者： グレゴリー・ブレイタ ,  クリストファー・ジョン・ノアズ ,  伊藤 洋 ,  ラトナム・スーリヤクマラン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266844
公開番号（公開出願番号）：特開平6-266112
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、化学的に増感されたフォトレジスト組成物を改良することにある。【構成】 本発明のフォトレジスト組成物は、(i)感光性酸発生体と、(ii)重合体であって、(ア)ヒドロキシスチレンと、(イ)アクリレート、メタクリレート、またはアクリレートとメタクリレートの混合物との反応生成物を含む上記重合体とを含む。【効果】 本発明によれば、熱安定性が改良され、空気中の汚染物質の影響を受けにくいフォトレジスト組成物が得られる。

請求項（抜粋）：

感光性酸発生体と、重合体であって、ヒドロキシスチレンと、アクリレート、メタクリレート、またはアクリレートとメタクリレートの混合物とを含む上記重合体とを含む感光性レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-096757
  
• 特開昭60-205444
  
• 特開昭60-260947
  
• 特開平3-206458
  
• 特開昭59-045439