特許
J-GLOBAL ID：200903030025552441
異常診断機能付マスフローセンサ及び異常診断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
櫛渕 昌之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039521
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229800
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 全流量制御範囲内の任意の指定流量でいつでもセンサ部の目詰まり等の異常の有無を診断する機能を備えたマスフローコントローラを提供する。【構成】 流体が流れる導管に温度に応じて電気抵抗が変化する2個の抵抗体を設け、両抵抗体の電気抵抗の差ΔRを計測し、該電気抵抗の差ΔRに基づいて、導管内の流体の質量流量を計測する流量計において、予め全流量範囲にわたって両抵抗体に加わるセンサ電圧と電気抵抗の差ΔRとを段階的に計測し、これらを基準センサ信号として記憶する手段と、使用状態で電気抵抗の差ΔRに対応する基準センサ信号を記憶手段から読み出す手段と、この読み出した基準センサ信号と、このとき両抵抗体に加わっている実際のセンサ電圧とを許容量を加味して比較する手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
流体が流れる導管に温度に応じて電気抵抗が変化する2個の同一の抵抗体を相接して直列に巻回し、定電流回路によって前記両抵抗体を通じる電流を一定に保ち、前記両抵抗体の電気抵抗の差ΔRを計測し、該電気抵抗の差ΔRに基づいて、前記導管内の流体の質量流量を計測する流量計において、予め全流量範囲にわたって前記両抵抗体に加わるセンサ電圧と前記電気抵抗の差ΔRとを段階的に計測し、これらを基準センサ信号として記憶する手段と、使用状態で前記電気抵抗の差ΔRに対応する基準センサ信号を前記記憶手段から読み出す手段と、この読み出した基準センサ信号と、このとき前記両抵抗体に加わっている実際のセンサ電圧とを許容量を加味して比較する手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを設けたことを特徴とする異常診断機能付マスフローセンサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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