ガスバリア性プラスチック容器の製造装置及びその製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：今下勝博 , 岡田賢治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-268321
公開番号（公開出願番号）：特開2008-088472
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：

【課題】本発明の目的は、ガスバリア性プラスチック容器を製造するに際して、真空チャンバ以外でのプラズマの発生を抑制し、さらには原料ガス由来の異物の発生を抑制することである。【解決手段】本発明は、プラスチック容器の内壁面にガスバリア性を有する薄膜を形成する装置であり、外部電極1の上端を容器8の天頂Yよりも下方に位置させ、外部電極1の上方かつ容器8の外側周囲に誘電体からなる環状部材2を配置し、外部電極1と環状部材2とは真空チャンバ3を構成し、容器自体の静電容量とその内部空間の静電容量との合成静電容量をC1とし、真空チャンバの内部空間と排気室の内部空間とを含む成膜ユニットの内部空間のうち容器の外側空間の合成静電容量をC2としたとき、C1>C2の関係が成立し、電源27は周波数400kHz〜4MHzの低周波電力を供給する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

天頂に口部を有するプラスチック容器の外側周囲に配置された外部電極と、前記プラスチック容器の内部に挿脱自在に配置され、原料ガス供給管となる内部電極と、前記外部電極に接続された電源と、前記プラスチック容器の内部のガスを排気する真空ポンプと、を有し、前記プラスチック容器の内壁面にプラズマCVD法によってガスバリア性を有する薄膜を形成するガスバリア性プラスチック容器の製造装置において、前記外部電極の上端を前記プラスチック容器の天頂よりも下方に位置させ、前記外部電極の上方かつ前記プラスチック容器の外側周囲に誘電体からなる環状部材を配置し、前記外部電極と前記環状部材とは、前記プラスチック容器を収容するための内部空間を有する真空チャンバを構成し、該真空チャンバの内部空間と前記プラスチック容器の口部の上方において連通する排気室を設け、前記プラスチック容器自体の静電容量とその内部空間の静電容量との合成静電容量をC1とし、前記真空チャンバの内部空間と前記排気室の内部空間とを含む成膜ユニットの内部空間のうち前記プラスチック容器の外側空間の合成静電容量をC2としたとき、C1>C2の関係が成立し、かつ、前記電源は、周波数400kHz〜4MHzの低周波電力を前記外部電極に供給することを特徴とするガスバリア性プラスチック容器の製造装置。

IPC (4件)：

C23C 16/505 , B65D 1/00 , C23C 16/44 , C23C 16/27

FI (4件)：

C23C16/505 , B65D1/00 C , C23C16/44 B , C23C16/27

Fターム (26件)：

3E033AA01 , 3E033BA15 , 3E033BA16 , 3E033BA17 , 3E033BA18 , 3E033BA19 , 3E033BA21 , 3E033BA22 , 3E033BA23 , 3E033BA26 , 3E033BB08 , 3E033CA16 , 3E033DA02 , 3E033DA08 , 3E033DB01 , 3E033DD02 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030CA07 , 4K030CA15 , 4K030FA03 , 4K030JA18 , 4K030KA09 , 4K030KA17 , 4K030KA46 , 4K030LA24

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2788412号公報
特許第3072269号公報

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