距離測定方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219623
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060556
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】被測定点からの光線束の光強度分布のバラツキに悪影響を受けることなく高精度の距離測定を行う。【構成】被測定点Pからの光線束10をビームスプリッタ14で2方向に分割し、一方の光線束16を円柱レンズ18を通して第1の4分割受光素子20Aに、他方の光線束22を円柱レンズを介さずに第2の4分割受光素子20Bにそれぞれ入射させ、第1の4分割受光素子20Aの感知出力A1〜A4と、これらの出力に対応する第2の4分割受光素子20Bの感知出力B1〜B4とで与えられる値S=(A1+A3)/(B1+B3)-(A2+A4)/(B2+B4)に基づいて上記被測定点Pの距離を演算する。

請求項（抜粋）：

光軸上の被測定点から受ける光線束を少なくとも対物レンズ及び円柱レンズを通して4分割受光素子に照射し、この受光素子の出力に基づいて上記被測定点の距離を測定する非点収差式の距離測定方法において、上記光線束を対物レンズに通した後にビームスプリッタで2方向に分割し、分割した一方の光線束を円柱レンズに通して第1の4分割受光素子に入射させるとともに、他方の光線束を円柱レンズを介さずに第2の4分割受光素子に入射させ、このときの上記第1の4分割受光素子の感知出力A1,A2,A3,A4と、これらの感知出力A1,A2,A3,A4にそれぞれ対応する第2の4分割受光素子の感知出力B1,B2,B3,B4とにより与えられる下式の値 S=(A1+A3)/(B1+B3)-(A2+A4)/(B2+B4)を算出し、この値Sに基づいて上記被測定点の距離を演算することを特徴とする距離測定方法。

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