特許

J-GLOBAL ID：200903030042705120

低濃度NOx計測器

発明者： 吉田 俊広 ,  小川 尚之 ,  高橋 知典
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300702
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】大気中の低濃度のNOx濃度を精度良く測定することができる低濃度NOx計測器を提供する。【解決手段】NOxを含む被測定ガスが接触することによりそのNOx成分に応じて抵抗が変化する金属酸化物半導体からなるセンサ素子6からなり、センサ素子6の温度Tを500°C≦T≦800°Cとした状態で測定を行う(第1発明)。NOxを含む被測定ガスが接触することによりそのNOx成分に応じて抵抗が変化する酸化物22からなるセンサ素子6と、センサ素子6の抵抗変化を検出して被測定ガス中のNOx濃度を検知するための測定部7とを備えるNOx計測器1において、測定対象となる被測定ガスが大気であり、センサ素子6に対して被測定ガスの流れの上流側に、NO/NO2 分圧比を平衡状態にし且つ可燃性ガスを除去するための触媒5を設け、センサ素子6の温度Tを500°C≦T≦800°Cとした状態で測定を行う(第2発明)。

請求項（抜粋）：

NOxを含む被測定ガスが接触することによりそのNOx成分に応じて抵抗が変化する金属酸化物半導体からなるセンサ素子からなり、センサ素子の温度Tが500°C≦T≦800°Cであることを特徴とする低濃度NOx計測器。