特許
J-GLOBAL ID：200903030047961132
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271229
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138991
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 平面歪みを有する基板を確実に吸着保持可能な基板保持装置を提供する。【構成】 保持板5上に角型基板Wが載置されると、吸気系66の真空ポンプによる吸着を開始する(ステップS10)。吸着確認センサ61がオンしない場合にはノズル20に設けられたギャップセンサ27を利用してノズル20と角型基板Wの表面との間隔を検出する(ステップS12)。このギャップセンサ27の検出結果によりアクチュエータ6を駆動して保持板5を角型基板Wの裏面に沿うように駆動する(ステップS13)。角型基板Wを保持板5に吸着した後アクチュエータ6を平面上に復帰して(ステップS15)、所定の処理を行う。
請求項（抜粋）：
上面に基板が載置される載置面と、前記載置面に形成される基板吸着用の複数の吸着口とを有し、前記各吸着口が上下方向に独立して移動するように前記載置面が変形可能な基板保持部と、前記載置面上に載置された基板の平面歪を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記載置面を変形させる保持部変形手段と、前記吸着口を介して前記載置面に載置された基板を吸着する吸着手段と、を備える基板保持装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05C 13/00
, G03F 7/16 502
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
