超音波による欠陥高さ測定装置及び欠陥高さ測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198880
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027630
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】被検査物の欠陥高さを精度良く簡単に測定する超音波による欠陥高さ測定装置を提供する。【解決手段】屈折角度選定部34は、アレイ探触子1から発信される超音波の被検査物内への屈折角度を変化させ、被検査物内で反射した波形データの中から反射波高値が高い屈折角度を選定し、焦点距離演算部35は、選定した屈折角で超音波の被検査物内への焦点距離を変化させ、被検査物内で反射した波形データに基づき反射波高値が高くなる焦点距離を演算し、欠陥高さ算出部36は、演算した焦点距離を始点とし欠陥部の欠陥面に沿って超音波の焦点深さと屈折角度を連続的に変化させ、欠陥面で反射した波形データの中の反射波高値が高くなる屈折角度に相当する超音波ビーム路程と次に高くなる屈折角度に相当する超音波ビーム路程との路程差から欠陥高さを算出する。

請求項（抜粋）：

被検査物に向け超音波を発信し、前記被検査物から反射してきた前記超音波を受信するアレイ探触子と、前記アレイ探触子を制御して前記被検査物の欠陥部を探傷し前記欠陥部の欠陥高さを測定する制御部とを有する超音波による欠陥高さ測定装置において、前記制御部は、前記アレイ探触子から発信される前記超音波の被検査物内への屈折角度を連続的に変化させ、前記被検査物内で反射した前記超音波の前記各屈折角度に対応する波形データの中から前記超音波の反射波高値が高い屈折角度を選定する屈折角度選定部と、前記選定した屈折角度で前記アレイ探触子から発信される前記超音波の被検査物内への焦点距離を連続的に変化させ、前記被検査物内で反射した前記超音波の前記各焦点距離に対応する波形データに基づき前記超音波の反射波高値が高くなる焦点距離を演算する焦点距離演算部と、前記演算した焦点距離を始点とし前記欠陥部の欠陥面に沿って前記超音波の焦点深さと前記屈折角度を連続的に変化させ、前記欠陥面で反射した前記超音波の前記各屈折角度に対応する波形データの中の前記超音波の反射波高値が高くなる屈折角度に相当する超音波ビーム路程と次に高くなる屈折角度に相当する音波ビーム路程との路程差から前記欠陥高さを算出する欠陥高さ算出部とを有することを特徴とする超音波による欠陥高さ測定装置。

IPC (3件)：

G01N 29/22 504 , G01B 17/00 , G01N 29/04 502

FI (3件)：

G01N 29/22 504 , G01B 17/00 B , G01N 29/04 502

Fターム (28件)：

2F068AA02 , 2F068AA22 , 2F068AA49 , 2F068BB09 , 2F068CC00 , 2F068FF12 , 2F068GG01 , 2F068HH01 , 2F068HH02 , 2F068JJ02 , 2F068JJ11 , 2F068KK13 , 2F068LL04 , 2F068PP08 , 2F068QQ22 , 2G047AB01 , 2G047AB07 , 2G047AC02 , 2G047BB02 , 2G047BC10 , 2G047BC11 , 2G047DB02 , 2G047EA10 , 2G047GB02 , 2G047GF17 , 2G047GF18 , 2G047GF22 , 2G047GF31

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