微粒子計測装置、微粒子捕集装置および微粒子分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-020722
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208673
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】微粒子の濃度(個数)等を粒径ごとに高感度で計測する微粒子計測装置、粒径ごとに分級された単分散の微粒子を均一の微粒子密度分布で基板等の上に高効率で捕集する微粒子捕集装置、並びに基板等の上に捕集された微粒子の組成、構造および物性等を高精度で分析する微粒子分析装置を提供する。【解決手段】 DMA2において、エアロゾルに含まれる微粒子がその電気移動度に基づいて粒径ごとに分級される。分級後のエアロゾルは、バルブ13を介してエアロダイナミックレンズ3へ導入され、エアロゾルに含まれる微粒子が微粒子ビームBとして絞り込まれた上で、ノズル4を介して真空チャンバ5へ導入される。これにより、ノズル4により集束された微粒子のみが微粒子ビームBとして下方に進行する。エアロダイナミックレンズ3およびノズル4により分離された微粒子(微粒子ビームB)は真空チャンバ5等を介して高真空チャンバ12へ導入され、高真空チャンバ12内において微粒子の計測、捕集および分析等が行われる。

請求項（抜粋）：

帯電した微粒子とキャリアガスとを含むエアロゾルを受け入れ、エアロゾルに含まれる微粒子を粒径ごとに分級する分級装置と、前記分級装置により微粒子が分級された後のエアロゾルから微粒子とキャリアガスとを分離する分離装置と、前記分離装置により分離された微粒子のみを導入する高真空チャンバとを備え、前記高真空チャンバは、内部に導入された微粒子を計測する計測手段を有することを特徴とする微粒子計測装置。

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