特許
J-GLOBAL ID:200903030054449943

2端子非線形素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-210750
公開番号(公開出願番号):特開平7-064115
出願日: 1993年08月25日
公開日(公表日): 1995年03月10日
要約:
【要約】【目的】 2端子非線形素子において、広い領域に渡って数多く均一に、しかも欠陥の少ない状態で、歩留まりよく製造できるようにする。【構成】 下部電極2が、環の一部が欠落したコの字状の両端を信号配線1と接続した状態に形成されており、上部電極5が環状に形成されている。このため、従来例の角状パターンに比べて、線間におけるパターニング精度を格段に向上させることが出来る。従って、精度良くかつ詳細にパターニングを行うことができる。さらに、下部電極2と上部電極5とを互いに2箇所で交差させた構成としてあるので、その交差部で構成される2端子非線形素子が並列に接続された冗長構造となっている。
請求項(抜粋):
基板上に配線された信号配線と接続して下部電極が設けられ、該下部電極の上に間に絶縁膜を介装して上部電極が設けられた2端子非線形素子において、該下部電極が、該信号配線に一部を接続した環状に、または環の一部が欠落した両端を該信号配線と接続した状態に形成され、該絶縁層が該下部電極の表面を陽極酸化法により酸化して形成され、さらに該上部電極が下部電極に対して1箇所または複数箇所で交差する状態で環状にまたは環の一部が欠落した状態に形成されている2端子非線形素子。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭60-106180
  • 特開平2-308227
  • 特開平3-210534

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