特許

J-GLOBAL ID：200903030055294552

レーザクリーニング装置および方法

発明者： 村松 憲一 ,  福満 憲志
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-241235
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047923
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】【課題】 対象物表面に熱損傷を及ぼすことなく安定したクリーニングを行うことができるレーザクリーニング装置および方法を提供する。【解決手段】 超音波振動子21により形成した微小液滴を対象物5表面に噴霧して液膜50を形成し、第1のパルスレーザー光源31から液膜50を加熱するパルスレーザ光を照射し、これと同時あるいは相前後して第2のパルスレーザ光源32から対象物5表面に付着している微粒子を加熱するパルスレーザ光を照射することで、微粒子を熱膨張によって対象物5から分離するとともに、液膜50の蒸発によって対象物5表面から除去して吸引装置4により外部へ排出する。

請求項（抜粋）：

対象物表面に付着している微粒子をレーザ照射によって除去するレーザクリーニング装置において、対象物表面に液膜を形成する液膜形成装置と、液膜を加熱する第1のパルスレーザ光を照射する第1のパルスレーザ光源と、微粒子を加熱する第2のパルスレーザ光を照射する第2のパルスレーザ光源と、前記第2のパルスレーザ光を前記第1のパルスレーザ光の照射中またはそれと相前後して照射する制御装置と、を備えているレーザクリーニング装置。

IPC (10件)：

B08B 7/00 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/10 ,  B08B 3/12 ,  B23K 26/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G11B 23/50 ,  H01L 21/304 645 ,  B23K101:36

FI (10件)：

B08B 7/00 ,  B08B 3/02 B ,  B08B 3/10 Z ,  B08B 3/12 C ,  B23K 26/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G11B 23/50 C ,  H01L 21/304 645 D ,  B23K101:36

Fターム (28件)：

2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  3B116AA01 ,  3B116AB33 ,  3B116AB37 ,  3B116AB47 ,  3B116BB21 ,  3B116BB72 ,  3B116BB82 ,  3B116BB83 ,  3B116BC01 ,  3B201AA01 ,  3B201AB33 ,  3B201AB37 ,  3B201AB47 ,  3B201BB21 ,  3B201BB72 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB99 ,  3B201BC01 ,  4E068AA05 ,  4E068CA03