特許
J-GLOBAL ID：200903030073031038
表面性状解析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213809
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 金属表面の光沢感、色調感、防眩性等の評価や金属板表面に発生する凹凸状の表面欠陥を、表面形状データ等の特性データから抽出し、その特徴量を見出す。【構成】 ある一定長さの表面粗さプロファイルを測定し、差分化する。測定長さを小さな解析領域に分割し、この分割領域を差分ピッチ以上の移動ピッチ毎に測定値を全体に移動しながら、分割領域内の傾斜角度、傾斜角度分布の尖度を順次計算することにより、表面粗さプロフィールから表面疵等を有する異常部を検出等、解析する。
請求項（抜粋）：
解析対象表面の特性データに対して、測定ピッチ以上の所定領域毎に部分的に波形解析を行って、その特徴量を抽出し、且つ、前記所定領域を、測定ピッチ以上の移動ピッチでずらしながら、全領域について略連続的に波形解析を行って、前記特徴量から表面性状を検出することを特徴とする表面性状解析方法。
IPC (4件)：
G01N 21/57
, G01B 5/28 102
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 460
