特許

J-GLOBAL ID：200903030075369540

メカニカル検出素子および検出器

発明者： 山口 浩司 ,  平山 祥郎
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 高山 道夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-121151
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300490
出願日： 2004年04月16日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】 感度の高いメカニカル検出素子および検出器を提供する。【解決手段】 微細加工により作製した梁片持ち梁1Aと、片持ち梁1Aからなる抵抗体の抵抗値が測定できる電極2、3とを有し、片持ち梁1Aに加わった微小な力を、ピエゾ抵抗効果により抵抗値の変化として検出するメカニカル検出素子において、電極2、3を通じて抵抗値を測定する対象がカーボンナノチューブ4により構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

微細加工により作製した梁と、その梁の全部あるいは一部分からなる抵抗体の抵抗値が測定できる電極(2、3)とを有し、前記梁に加わった微小な力を、ピエゾ抵抗効果により前記抵抗値の変化として検出するメカニカル検出素子において、 前記電極(2、3)を通じて抵抗値を測定する対象の全部あるいは一部がカーボンナノチューブ(4)により構成されることを特徴とするメカニカル検出素子。

IPC (7件)：

G01L1/18 ,  B81B3/00 ,  G01L1/14 ,  G01N13/10 ,  G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125

FI (7件)：

G01L1/18 Z ,  B81B3/00 ,  G01L1/14 K ,  G01N13/10 A ,  G01P15/12 D ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/08 Z