特許
J-GLOBAL ID：200903030077908180
反強誘電-強誘電相転移膜型アクチュエータ及びインクジェットプリンタヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202315
公開番号（公開出願番号）：特開平10-052071
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 アクチュエータに反強誘電-強誘電相転移材料を用いることにより、製造性に優れ、低消費電力であり、歪み(変位量)と発生力が大きく、相転移特性の優れたアクチュエータを提供し、また、このアクチュエータを使用して高密度化、高集積化を実現させたインクジェットプリンタヘッドを提供する。【解決手段】 セラミック基板3上に、第1の電極膜4と反強誘電-強誘電相転移膜5と第2電極膜6の組み合わせからなる駆動部を形成することにより、反強誘電-強誘電相転移膜型アクチュエータを構成する。また、このような反強誘電-強誘電相転移膜型アクチュエータをインクジェットプリンタヘッド(図示せず)に用いることにより、高密度化・高集積化が可能で高速な当該ヘッドを提供する。
請求項（抜粋）：
セラミック基板の少なくとも一方の面上に、第1の電極膜と反強誘電-強誘電相転移膜と第2電極膜の組み合わせからなる反強誘電-強誘電相転移駆動部の少なくとも1つが、それら膜が順次層状に積層せしめられて、形成されてなる構造を有することを特徴とする反強誘電-強誘電相転移膜型アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 2/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H02N 2/00 B
, B41J 3/04 103 A
