特許
J-GLOBAL ID：200903030082381378
熱線式フローセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313338
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166269
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 ヒータ線からの輻射による熱損失を抑えると共に、熱系の熱的応答速度を増進することにより、低消費電力型でかつ高速応答型の熱線式フローセンサを提供することである。【構成】 本発明の熱線式フローセンサは、熱絶縁用空洞部を有するシリコン基板上に形成されたヒータ線の上下面の少なくともいずれか一方側に保護膜を介して形成された輻射防止膜を備えている。さらに、シリコン基板を載置する基台の上面には反射増加膜が形成されている。
請求項（抜粋）：
熱絶縁用の空洞部を有するシリコン基板上に形成されたヒータ線の上下面の少なくともいずれか一方側に保護膜を介在して形成された輻射防止膜を具備することを特徴とする熱線式フローセンサ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
