特許
J-GLOBAL ID：200903030082788834
プラズマディスプレイパネルにおける透明電極の加工方法、プラズマディスプレイパネル、レーザ加工方法、及びレーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260167
公開番号（公開出願番号）：特開2001-079675
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：
【要約】【課題】 帯状電極の端部に残る不要電極部分を除去してこの帯状電極を縁取り整形する時間を短縮した加工方法及び装置を提供する。【解決手段】 複数の帯状電極56を並列に形成するレーザ加工方法は、帯状電極の長手方向とその直交方向に位置をずらして複数のレーザ透過孔46を形成したマスクを介して薄膜54にレーザを照射する工程と、基板52を、マスクに対して、長手方向に移動させ、複数の帯状電極を形成する工程と、基板を、マスクに対して、直交する方向に移動させ、帯状電極の長手方向端部を整形する工程を含む。
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた薄膜にレーザビームを照射して上記薄膜を部分的に消失させることで、上記基板上に複数の帯状電極を並列に形成する電極のレーザ加工方法において、上記帯状電極の長手方向とその直交方向に位置をずらして複数のレーザ透過孔を形成したマスクを介して上記薄膜にレーザビームを照射する工程と、上記基板を、上記マスクに対して、上記長手方向に移動させ、上記複数の帯状電極を形成する工程と、上記基板を、上記マスクに対して、上記長手方向と直交する方向に移動させ、上記帯状電極の長手方向端部を整形する工程と、を含む電極のレーザ加工方法。
IPC (3件)：
B23K 26/00
, H01J 9/02
, H01J 11/02
B23K 26/00 C
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
4E068AC00
, 4E068CD10
, 4E068DA11
, 5C027AA01
, 5C040GC06
, 5C040GC19
, 5C040JA11
, 5C040JA31
, 5C040MA26
