特許
J-GLOBAL ID：200903030085234805
ウェーハホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188452
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045691
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのスリップや割れ、欠けを防止し、炉内の熱吸収を少なく、かつボートの重量を軽くすると共に容易に加工でき、安価に実施する。【構成】 ボートの支持部に、リング状又は中央部が凹状のSiC製支持板を設置してなる。
請求項（抜粋）：
ボートの支持部に、リング状又は中央部が凹状のSiC製支持板を設置し、ウェーハ周辺を保持することを特徴とするウェーハホルダ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/86
, H01L 21/22 511
