特許

J-GLOBAL ID：200903030085783078

レーザ加工装置

発明者： 引間 郁雄 ,  遠藤 一正 ,  岩本 譲治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331458
公開番号（公開出願番号）：特開平5-185254
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 加工対象物の形状に起因する加工不良又は加工形状のばらつきが生じないようにする。【構成】 レーザ光LB1を発生するレーザ光源5と、そのレーザ光LB1を加工対象物2に導く光学系6,7,8と、この光学系の光路中に配置されそのレーザ光LB1の偏光状態をその加工対象物2に応じて変化させる偏光可変板12とを有する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ光源と、前記レーザ光を加工対象物に導く光学系と、該光学系の光路中に配置され前記レーザ光の偏光状態を前記加工対象物に応じて変化させる偏光状態変換手段とを有する事を特徴とするレーザ加工装置。

IPC (7件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/30 ,  G02B 27/28 ,  H01L 21/82 ,  H01S 3/101 ,  B23K101:40

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-262479
  
• 特開昭62-089594
  
• 特開平1-122682