特許
J-GLOBAL ID：200903030094641448
走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-270655
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111375
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】本発明は走査型露光装置において、複数の投影光学系を用いて露光される露光パターンの精度を従来に比して一段と向上させる。【構成】露光に先だつて、複数の投影光学系(12A〜12C)が照明するマスク(11)と感光基板(3)との投影光学系の光軸方向の位置関係を複数の投影光学系(12A〜12C)それぞれの走査方向上に配置された位置検出手段(12A〜12C)によつて任意の位置について求め、記憶装置(32)に記憶しておく。そして走査露光の際にはこの相対的な間隔に基づいてマスク面(11A)と感光基板面(3A)との位置関係が所定の関係を満たすように制御する。これにより複数の露光領域におけるマスク面(11A)と感光基板面(3A)との間の位置関係を常に最適な状態に保つたまま走査露光することができる。
請求項（抜粋）：
マスク上の複数の領域をそれぞれ照明し、該複数の領域のそれぞれの像を複数の投影光学系を介して感光基板上に投影すると共に、前記マスクと前記感光基板とを前記複数の投影光学系に対して走査させることにより、前記マスクの被露光領域を前記感光基板上の投影領域に露光する走査型露光装置において、前記複数の投影光学系それぞれに対応して設置され、前記マスク面上の前記複数の被露光領域のそれぞれと前記感光基板面上の前記投影領域との前記投影光学系の光軸方向の相対的な位置関係を前記走査方向上の任意の位置で測定する位置検出手段と、前記位置検出手段の測定結果に基づいて、前記相対的な位置関係が所定の関係を維持するように前記マスクと前記感光基板の少なくとも一方の前記光軸方向の位置を補正する位置補正手段とを具えることを特徴とする走査型露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 526 Z
