特許

J-GLOBAL ID：200903030097880354

露光装置

発明者： 鈴木 康之 ,  安藤 謙二 ,  大谷 実 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289854
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 長期間の使用によっても露光照度の低下しない、ウエハ上での照度ムラの変化の少ない、安定した露光を行うことのできる露光装置の提供。【解決手段】 光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光装置において、光路を取り囲み、露光光の散乱光が入射する鏡筒等の少なくとも1部の内面に活性酸素生成触媒をコーティングし、酸素雰囲気に保持して露光中に活性酸素が生成される露光性能の劣化しない露光装置。

請求項（抜粋）：

光源からの光束をレンズを含む光学系を介して通過させ、レチクルを通して露光対象物上に露光する露光装置において、光路を取り囲み、露光光の散乱光が入射する鏡筒等の少なくとも1部の内面に活性酸素生成触媒をコーティングして、酸素雰囲気に保持することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521