特許
J-GLOBAL ID：200903030108535107
加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026433
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【課題】 小型化及び検出感度の両立を実現できる構成とされた加速度センサを提供する。【解決手段】 本発明に係る加速度センサは、主表面のそれぞれ上に信号取出電極2と中間電極3とが形成された一対の圧電セラミック板4を具備し、中間電極3を介したうえで圧電セラミック板4同士を対面接合してなるバイモルフ型検出素子1と、このバイモルフ型検出素子1を信号取出電極2と対向する両側方向から挟み込んで配置された一対の保持部品5とを備えており、かつ、これらの保持部品5はバイモルフ型検出素子1の長手方向に沿う一端部のみを固定支持したものであることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
主表面のそれぞれ上に信号取出電極(2)と中間電極(3)とが形成された一対の圧電セラミック板(4)を具備し、中間電極(3)を介したうえで圧電セラミック板(4)同士を対面接合してなるバイモルフ型検出素子(1)と、このバイモルフ型検出素子(1)を信号取出電極(2)と対向する両側方向から挟み込んで配置された一対の保持部品(5)とを備えており、かつ、これらの保持部品(5)はバイモルフ型検出素子(1)の長手方向に沿う一端部のみを固定支持したものであることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
