特許
J-GLOBAL ID:200903030109096417
ガラス基板
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐野 静夫
, 山田 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-166548
公開番号(公開出願番号):特開2004-010430
出願日: 2002年06月07日
公開日(公表日): 2004年01月15日
要約:
【課題】線熱膨張係数が高く且つアルカリ成分の溶出が少なく、さらに低コストであるガラス基板を提供する。【解決手段】重量%で、SiO2:45〜70%、Al2O3:1〜10%、B2O3:0.5〜8%、Li2O+Na2O+K2O:7〜20%、MgO:0.1〜10%、CaO:0.1〜10%、MgO+CaO:1〜15%、TiO2:0.5〜10%、ZrO2:0.5〜10%、ZnO:0〜5%、La2O3:0〜8%の各ガラス成分を有する構成とした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
線熱膨張係数Aが60×10-7/°C以上で、アルカリ溶出量Bが2.5インチディスク当たり250ppb以下で、ヤング率Eが85GPa以上であって、さらに下記式を満足し、表面および内部の組成が均質で且つアモルファス構造を有することを特徴とするガラス基板。
(A/B)×E×107≧30 ・・・・・・(1)
IPC (3件):
C03C3/095
, C03C3/093
, G11B5/73
FI (3件):
C03C3/095
, C03C3/093
, G11B5/73
Fターム (80件):
4G062AA01
, 4G062BB01
, 4G062DA05
, 4G062DA06
, 4G062DB03
, 4G062DC02
, 4G062DC03
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DE02
, 4G062DE03
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EA02
, 4G062EA03
, 4G062EA04
, 4G062EB01
, 4G062EB02
, 4G062EB03
, 4G062EB04
, 4G062EC01
, 4G062EC02
, 4G062EC03
, 4G062EC04
, 4G062ED02
, 4G062ED03
, 4G062EE02
, 4G062EE03
, 4G062EF01
, 4G062EG01
, 4G062FA01
, 4G062FB02
, 4G062FB03
, 4G062FC02
, 4G062FC03
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FK02
, 4G062FK03
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GA10
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM27
, 4G062NN29
, 4G062NN33
, 4G062NN34
, 5D006CB04
, 5D006CB07
, 5D006DA03
, 5D006FA00
, 5D006FA02
引用特許:
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