特許
J-GLOBAL ID:200903030113546591
超音波捩り振動型ブレード駆動装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩川 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-150065
公開番号(公開出願番号):特開2002-336775
出願日: 2001年05月18日
公開日(公表日): 2002年11月26日
要約:
【要約】【課題】 振動体の剛性に富み、硬脆性材料の高精度加工が可能な超音波捩り振動型ブレード駆動装置を提供すること。【解決手段】 ブレードと捩り振動ホーンを座金を介して締結し、捩り振動ホーンの捩り共振周波数をブレードの撓み共振周波数と離調させ、座金の直径をブレードの直径とブレードの厚みの20倍の値との差と等しいか小さい構造としたもの。
請求項(抜粋):
超音波捩り振動ホーンとブレードをそれらの結合体が軸対称形をなすように結合し、ホーンの捩り振動共振周波数を、ブレードの撓み振動共振周波数と離調した周波数とする構造としたことを特徴とする超音波捩り振動型ブレード駆動装置。
IPC (3件):
B06B 1/02
, B28D 5/00
, H01L 21/301
FI (3件):
B06B 1/02 K
, B28D 5/00 Z
, H01L 21/78 F
Fターム (14件):
3C069AA01
, 3C069BA04
, 3C069BB00
, 3C069BC01
, 3C069CA02
, 3C069CA03
, 3C069CA05
, 3C069EA02
, 3C069EA05
, 5D107AA11
, 5D107BB01
, 5D107CC10
, 5D107DD11
, 5D107FF03
前のページに戻る