特許
J-GLOBAL ID：200903030115129289
磁気抵抗効果ヘッドの研磨制御用センサ、該センサを用いた研磨制御方法及び該センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224436
公開番号（公開出願番号）：特開平11-066520
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 MRハイトを正しい値に、確実にかつ安定して調整することができる研磨制御用センサ、これらセンサを用いた研磨制御方法及びこれらセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 下部シールド層、シールドギャップ絶縁層、MR層及びリード導体層を少なくとも含む積層構造を有するMRヘッドと並列に設けられており、金属層、絶縁層、抵抗体層及びリード導体層を含む積層構造を有する研磨制御用センサである。この研磨制御用センサの部分の絶縁層が、MRヘッドのシールドギャップ絶縁層より厚くかつ0.1μm以上の層厚を有している。
請求項（抜粋）：
下部シールド層、シールドギャップ絶縁層、磁気抵抗効果層及びリード導体層を少なくとも含む積層構造を有する磁気抵抗効果ヘッドと並列に設けられており、金属層、絶縁層、抵抗体層及びリード導体層を含む積層構造を有する研磨制御用センサであって、該研磨制御用センサの部分の前記絶縁層が前記磁気抵抗効果ヘッドの前記シールドギャップ絶縁層より厚くかつ0.1μm以上の層厚を有していることを特徴とする磁気抵抗効果ヘッドの研磨制御用センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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