特許
J-GLOBAL ID：200903030120625537

カセットの保管および移動装置

発明者：
ジェイム ニュルマン

ジェイム ニュルマン について

, 
ニッシム シディ

ニッシム シディ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-076334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298069
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 システムダウンタイムが減少または無くなるように、連続して基板カセットを処理システムに供給する、カセットの保管および移動装置を提供する。【解決手段】 カセットストッカ50は、クリーンルーム壁26に隣接して位置付けられ複数のカセットドッキングステーションに相対的に垂直に配列される複数のカセット保管シェルフ62と、カセットをシェルフとドッキングステーションとの間で運搬する為のカセットムーバ56を包含する。ステーション間移動装置は、カセットを処理ステーション間で運搬するために適合される支持ビームと移動アームを包含する。
請求項（抜粋）：
カセットを保管する装置であって、複数のカセット保管シェルフと、2つ以上の垂直に配列されるドッキングステーションと、カセットを上記シェルフと上記2つ以上のドッキングステーションとの間で運搬するために、上記シェルフに隣接して位置付けられ上記シェルフに一般に平行な経路で可動な支持部材を持つカセットムーバと、上記支持部材に可動に接続されカセットに噛み合うよう構成されるエンドエフェクタとを備える装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/00 521 ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 1/00 521 D ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 49/07 L
引用特許：
審査官引用 (5件)
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