特許

J-GLOBAL ID：200903030124468967

分割逐次露光装置

発明者： 永井 新一郎
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177696
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365809
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 次ステップ時の基板とマスクとの位置決め精度及び基板上の個々露光パターンの露光転写精度を共に高精度且つ信頼度の高いものとする。【解決手段】 ワークステージ2に保持された基板Wに対向配置されて基板Wより小さいマスクMを保持するマスクステージ1と、基板Wにパターン露光用の光をマスクMの上方から照射する照明光学系3と、ワークステージ2をステップ方向にステップ移動させるステージ送り機構7と、ステージ送り機構7によるステップ方向の送り誤差を検出するレーザ干渉計743と、マスクMに気流を吹き付けることにより該マスクMの温度を調整するマスク温度調整手段203,204とを備えた分割逐次露光装置において、レーザ干渉計743による送り誤差の検出時にマスク温度調整手段204からの気流の吹き付けを停止する制御装置300を備える。

請求項（抜粋）：

被露光材としての基板を保持するワークステージと、前記基板に対向配置されて該基板より小さいマスクを保持するマスクステージと、前記基板に対してパターン露光用の光を前記マスクを介して照射する照射手段と、該マスクのマスクパターンを前記基板上の複数の所定位置に対向させるように前記ワークステージと前記マスクステージとを相対的にステップ移動させるワークステージ送り機構と、該ワークステージ送り機構によるステップ方向の送り誤差を光学的計測センサを用いて検出する送り誤差検出手段と、前記マスクに気流を吹き付けることにより該マスクの温度を調整するマスク温度調整手段とを備えた分割逐次露光装置において、少なくとも前記送り誤差検出手段による送り誤差の検出時に前記マスク温度調整手段からの気流の吹き付けを停止又は該気流の吹き付け量を減量制御する気流吹き付け量変更手段を備えたことを特徴とする分割逐次露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 509

Fターム (7件)：

2H097CA12 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F046BA02 ,  5F046CC13 ,  5F046DA26 ,  5F046DB05