特許

J-GLOBAL ID：200903030125325264

コンベア式基板加熱炉

発明者： 今岡 安治 ,  籔本 達也
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317521
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163623
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 メッシュレス・基板加熱炉において、センター・コンベアを中央に固定してサイド・コンベアとの間隔を広げたり狭めたりするために、炉幅の半分以下のものしか搬送できず、広い基板の熱処理ができない。また、幅の異なる基板を同時に熱処理をすることも不可能である。【解決手段】 2列のメッシュレス・コンベア3を有する基板加熱炉1において、駆動チェーン3a、3bをそれぞれのころがし機構4の外側に配設し、一方の駆動チェーン3aを固定し、他方の駆動チェーン3b及びころがし機構4をコンベア3の幅方向に移動可能にする。

請求項（抜粋）：

基板搬送コンベアを有するコンベア式加熱炉であって、該コンベアは配列されたころがし機構と、該ころがし機構の両側に配される2つの駆動チェーン機構とからなり、該ころがし機構と該駆動チェーン機構とにより基板の両端を支持して同時に2列に基板を搬送することができる並列メッシュレスコンベアであることを特徴とするコンベア式基板加熱炉。

IPC (4件)：

H05K 3/34 507 ,  H05K 3/34 ,  B23K 1/008 ,  F27B 9/24

FI (4件)：

H05K 3/34 507 L ,  H05K 3/34 507 K ,  B23K 1/008 C ,  F27B 9/24 E