特許
J-GLOBAL ID：200903030126897520
回折電子検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005543
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213832
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 蛍光スクリーンの観察範囲を広げて、回折斑点の正確で容易な選択操作を可能とし、また、回折斑点の明るさ信号の連続的な検出を可能として、電子線の走査速度を高めた回折電子検出装置を提供する。【構成】 試料に電子線を照射し、該試料により回折される回折電子線を検出する回折電子検出装置において、回折電子線を光信号に変換する蛍光スクリーン1と、その蛍光スクリーン1を撮像するTVカメラ5と、蛍光スクリーン1上の明るさを検出する光電変換器2と、光電変換器2が検出する蛍光スクリーン1の検出位置を移動するX,Yステージ4と、TVカメラ5の画像信号に基づいて蛍光スクリーン1上の位置を指定する位置指定手段6と、位置指定手段6の指定する座標データに基づいてX,Yステージ4を制御する位置制御手段7とを設けたものである。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射し、該試料により回折される回折電子線を検出する回折電子検出装置において、(a)前記回折電子線を光信号に変換する蛍光スクリーンと、(b)前記蛍光スクリーンを撮像する撮像手段と、(c)前記蛍光スクリーン上の明るさを検出する検出手段と、(d)前記検出手段が検出する前記蛍光スクリーンの検出位置を移動する移動手段と、(e)前記撮像手段の画像信号に基づいて前記蛍光スクリーン上の位置を指定する位置指定手段と、(f)前記位置指定手段の指定する座標データに基づいて前記移動手段を制御する位置制御手段とを設けたことを特徴とする回折電子検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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