特許
J-GLOBAL ID：200903030131167638
試料検査装置の調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107720
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304419
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 微小な対象物の検出・観察・分析を行うことができる装置の光学系の調整を簡便に行えると共に、その装置の検出精度を高める方法を提供する。【解決手段】 レーザ光源32から照射されるレーザ光を微小突起に照射するように、XYステージ21を微動させる。そして、光検出器33の出力が最大になるところでXYステージ21を停止し、その位置でのX方向エンコーダ22aおよびY方向エンコーダ22bの読みを記憶する。以降は、この記憶した位置をレーザビームの照射基準位置として、任意の位置にレーザビームを照射する。
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置された試料にレーザービームをレンズで絞って照射するためのレーザ光源と、前記レーザービームが照射された試料上の異物からの散乱光を検出する光検出器とを有し、該光検出器で検出される散乱光強度を基に前記試料上の異物の位置情報、サイズを取得する試料検査装置の調整方法であって、微小な突起又は穴を有し、該微小な突起又は穴を保護膜で覆ったプレートを前記ステージ上に設置しておき、前記レーザビームが前記プレートの微小な突起又は穴に照射されるように前記ステージと前記レーザ光源とを相対移動させ、前記光検出器で検出される散乱光の強度が最大となった位置を、前記レーザービームの照射基準位置とする試料検査装置の調整方法。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 15/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
G01B 11/00 A
, G01B 15/00 B
, G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
