特許

J-GLOBAL ID：200903030141240686

耐食性アルミナ焼結体

発明者： 光岡 健 ,  山本 洋 ,  飯尾 聡
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098678
公開番号（公開出願番号）：特開2000-290063
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【目的】 腐食環境下、特にはフッ化水素酸溶液等の酸性溶液中で使用される摺動部材、ポンプ部品、メカニカルシール、軸受け部材、半導体製造装置用部材に好適に用いることが可能な耐食性アルミナ焼結体を提供すること。【構成】 Mg含有量を1〜3000ppm、Si含有量を5〜150ppm、アルカリ金属含有量を1〜20ppm、Fe含有量を5〜50ppm、ZrO2含有量を3重量部以下に制御したアルミナ焼結体。

請求項（抜粋）：

Si(ケイ素)成分の金属換算での含有量が5〜150ppmであることを特徴とするアルミナ焼結体。

Fターム (8件)：

4G030AA03 ,  4G030AA07 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030BA33 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4G030PA21