被膜作製装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100480
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121339
出願日： 1978年12月10日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】異なる成分の被膜を積層する際、それぞれの被膜内に異なる被膜の成分が混入しないようにした装置を提供する。【構成】反応性気体供給手段と排気手段とを独立して設けた反応室をゲート弁を介して複数個連結させた。

請求項（抜粋）：

複数個の反応室をゲート弁を介して連結させた被膜作製装置であって、各反応室毎に独立した反応性気体供給手段および各反応室毎に独立した排気手段を有することを特徴とする被膜作製装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , C23C 16/50

引用特許：

審査官引用 (13件)

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