表面形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337457
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172537
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】広範囲の表面形状を正確に測定すること。【構成】扇状光Fを被測定物に照射する投光手段1と、被測定物からの反射光A、B、Cを結像する光学手段3と、この光学手段3による前記扇状光の平面の結像面に光検出面が一致するように配置された画像検出手段4を設けたもの。

請求項（抜粋）：

扇状光を被測定物に照射する投光手段と、前記被測定物からの反射光を結像する光学手段と、この光学手段による前記扇状光の平面の結像面に光検出面が一致するように配置された画像検出手段を設けたことを特徴とする表面形状測定装置。

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