特許
J-GLOBAL ID：200903030160749425
微小電気機械スイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-509981
公開番号（公開出願番号）：特表2005-528751
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
基板上に間隔を有する高周波導体を有し、基板上方に設けられたブリッジ構造を備えるMEMSスイッチ。一実施態様において、ブリッジ構造は2つの支持部材に支持された2つの可撓性アームを有し、他の実施態様では、3つの支持部材に指示された3つの可撓性アームを有し、3つの支持部材は第2導体と電気的に一体になっている。ブリッジ構造の下側表面上に対応電極を有する制御電極に制御信号を印加することにより、ブリッジ構造は引き下げられて第1および第2導体間に電気的接触をもたらす。ブリッジの中央補剛部は制御および対向電極間の接触を防止する。
請求項（抜粋）：
基板部材と、
前記基板上に設けられ間隔を有する第1および第2導体と、
複数の支持部材と、
基板の上方に設けられ支持部材の各々に接続される複数の可撓性アームを有し中央補剛部を備えるブリッジ構造と、
基板上に設けられ直流制御信号を受けてスイッチを閉位置へ作動する少なくとも1つの制御電極とを備え、
ブリッジ構造は、制御電極に対面する対向電極部を形成する少なくとも1つの金属領域を備える下側表面を有して直流制御信号の制御電極への印加時に静電引力を成生し、
ブリッジ構造は、前記直流制御信号の印加時に、前記静電引力によって引下げられて、第1および第2導体間に電気回路を形成し、
前記中央補剛部は、前記ブリッジ構造が引下げられて前記電気回路を形成するときに、制御電極と対向電極部との間で接触が生じないように、湾曲を阻止する材料からなる微小電気機械システムスイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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