特許
J-GLOBAL ID：200903030165616989
変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223728
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068407
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 装置が複雑、高価になることなく、被測定面の変位の変化量の大小に関係なく、被測定面の変位を非接触で高精度に検出することのできる変位検出装置を得る。【解決手段】 被測定面10に対向する如く配され、レーザビームを対物レンズ9にその光軸に沿って入射させ、その集束出射ビームを被測定面10に入射させるレーザ光源2と、被測定面10から反射し、反射ビームが入射せしめられるフォーカスエラー検出手段6、7と、対物レンズ9の光軸方向の位置を測定する測定手段12、14とを有し、被測定面10の測定毎に、対物レンズ9を移動させて、フォーカスエラー検出手段6、7によってフォーカスエラーが所定値になったときの対物レンズ9の位置を測定手段12、14によって測定し、フォーカスエラーが所定値となったときの対物レンズ9の位置の変位から、被測定面10の対物レンズ9の光軸方向の変位を検出する。
請求項（抜粋）：
被測定面に対向する如く配され、その光軸方向に移動可能な対物レンズと、レーザビームを前記対物レンズにその光軸に沿って入射させ、その集束出射ビームを前記被測定面に入射させるレーザ光源と、前記被測定面から反射し、前記対物レンズを再度通過した反射ビームが入射せしめられるフォーカスエラー検出手段と、前記対物レンズの光軸方向の位置を測定する測定手段とを有し、前記被測定面の測定毎に、前記対物レンズ及び前記被測定面間の距離が前記対物レンズの焦点距離より長い距離及び短い距離の間に亘って変化するように前記対物レンズを移動させて、前記フォーカスエラー検出手段によってフォーカスエラーが所定値になったときの前記対物レンズの位置を前記測定手段によって測定し、前記フォーカスエラーが所定値となったときの前記対物レンズの位置の変位から、前記被測定面の前記対物レンズの光軸方向の変位を検出するようにしたことを特徴とする変位検出装置。
引用特許：
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