特許
J-GLOBAL ID：200903030173020947
三次元形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-046704
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239029
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 測定光のビームの拡がりを抑えてビーム径の位置による変化をなくし、三次元形状計測の精度を向上させる。【解決手段】 三次元形状計測装置は、測定光のビームを投光用ファイバ41,レンズ43,絞り44,凹レンズ45を通して物体面46に投光し、物体面46で反射した測定光を凹レンズ47,レンズ48,伝送光学系49を通してイメージセンサ50で受光して、三角測量の原理に基づく光切断法等により対象物表面の三次元形状計測処理を行う。投光系には、測定光のビームの拡がりを抑えるために、絞り、あるいは屈折率分布型マイクロレンズアレイ等を設けて構成したテレセントリック光学系が配設されている。
請求項（抜粋）：
ビーム状の測定光を水平垂直方向に走査して被測定面に投影する測定光投光手段を有し、前記被測定面からの前記測定光の反射光を受光して三角測量の原理により前記被測定面の高さ情報を算出する三次元形状計測装置において、前記測定光投光手段は、テレセントリック光学系よりなる投光光学系を備えたことを特徴とする三次元形状計測装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, A61B 1/00 300
, G02B 23/24
, G06T 7/00
G01B 11/24 A
, A61B 1/00 300 E
, G02B 23/24 B
, G06F 15/62 415
