特許
J-GLOBAL ID：200903030187598429
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-336967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026614
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】試料の急峻な段差に対応して、探針又は試料を破損しないようにして、比較的高速に探針走査を行えるようにすること。【構成】比例積分制御回路8の積分器51の第1の抵抗R1と並列に、第1のダイオードD1と第7の抵抗R7を接続する。探針2と試料3が基準より近づき、偏差信号S4が0.7V以上となると、第1のダイオードD1及び第7の抵抗R7を介して、第1のコンデンサC1に電荷が蓄積される。よって、積分制御信号S7の電圧は、急激に負電圧側へ変化し、探針2と試料3を遠ざけるように動作する。
請求項（抜粋）：
探針と試料間の距離を一定にする様にトンネル電流を用いたサーボ回路を作動させながら試料面を走査し、3次元像を出力する走査型プローブ顕微鏡に於いて、上記サーボ回路の帰還部に、上記トンネル電流が急峻に増加する方向を検出し、この検出がなされた瞬間にのみサーボ出力を高めるトンネル電流対応特性変更手段を具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
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