特許

J-GLOBAL ID：200903030189430991

非球面形状測定装置

発明者： 市川 元 ,  御菩薩池 茂男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020306
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221029
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 高精度に非球面形状を測定することができる非球面測定装置を提供する。【解決手段】 ヌル素子2を経由した測定ヌル波面10が照射される一定の同一位置において被検レンズ13およびマスター原器12を交換可能に保持する保持装置3を備え、被検レンズ13が保持機構3により保持されているときに、参照光および被検面13aでの反射により得た測定光の相互干渉による干渉縞から得られる被測定面形状データと、マスター原器12が保持機構3により保持されているときに、参照光およびマスター原器面12aでの反射により得た測定光の相互干渉による干渉縞から得られるマスター原器面形状データとに基づき、被検面13aのマスター原器面12aからの形状偏差を演算する。

請求項（抜粋）：

被測定物に形成された被測定面の非球面形状を測定する非球面形状測定装置において、参照光および測定光の相互干渉に基づく干渉縞を形成する干渉計本体と、前記干渉計本体から射出される波面を前記被測定面と略等しい形状の非球面波に変換するためのヌル素子と、前記被測定面と略等しい形状の別途校正されたマスター原器面が形成されたマスター原器と、前記ヌル素子を経由した前記非球面波が照射される一定の同一位置において前記被測定物および前記マスター原器を交換可能に保持する保持装置と、前記被測定物が前記保持装置により保持されているときに、前記参照光および前記被測定面での反射により得た測定光の相互干渉による干渉縞から得られる被測定面形状データと、前記マスター原器が前記保持装置により保持されているときに、前記参照光および前記マスター原器面での反射により得た測定光の相互干渉による干渉縞から得られるマスター原器面形状データとに基づき、前記被検面の前記マスター原器面からの形状偏差を演算する演算装置とを備えることを特徴とする非球面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00 L