特許
J-GLOBAL ID：200903030189854511
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-242187
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074084
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 スループットを向上させる。【構成】比較的粗い位置決めがされた基板Wを保持して基板処理手段S0 へ搬送する搬送手段201を備えた基板処理装置において、この搬送手段が粗位置決めされた基板を保持した状態でその基板上の2点以上のマークを検出するマーク検出手段16と、この検出結果に基づいて、比較的精密なプリアライメントを行うための、基準位置に対するX,Y方向およびZ軸を中心とする回転方向であるθ方向のずれ量を得る手段とを備える。
請求項（抜粋）：
基板を保持する手段と、この基板保持手段を駆動させて基板の精密なアライメントを行う手段と、前記基板保持手段に保持され精密なアライメントが行われた基板に対し所定の処理を行う基板処理手段と、基板を保持して移動させる基板駆動手段、この基板駆動手段によって保持された基板の端部を非接触で検出するセンサ、および、このセンサの出力値が所定の目標値に対する所定のトレランス範囲内となるように前記基板駆動手段の動作を制御して前記基板の比較的粗い位置決めを行なう制御手段を備えるプリアライメント手段と、この粗位置決めが行われた基板を保持して前記基板保持手段上に搬送する搬送手段とを備えた基板処理装置において、この搬送手段が粗位置決めされた基板を保持した状態でその基板上の2点以上のマークを検出するマーク検出手段と、この検出結果に基づいて、比較的精密なプリアライメントを行うための、基準位置に対するX,Y方向およびZ軸を中心とする回転方向であるθ方向のずれ量を得る手段とを具備することを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, G05D 3/12
, G05D 3/12 305
, H01L 21/68
