特許

J-GLOBAL ID：200903030201564214

キャパシタおよびその作製方法

発明者： ジョナサン・ダニエル・チャップル-ソコル ,  リチャード・アンソニー・コンティ ,  ジェフリー・ピーター・ガンビーノ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166538
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066300
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 高誘電率を有するキャパシタおよびその作製方法を提供する。【構成】 このキャパシタは、化学蒸着によって基板110上に堆積させた導電性酸化物から成る底部電極12,22を備えている。この導電性酸化物の上に、高誘電率を有する誘電体層14,24を堆積させる。最後に、対向電極16,26を誘電体層の上に形成する。

請求項（抜粋）：

(a)化学蒸着によって基板の上に導電性酸化物を堆積させ、前記導電性酸化物は、酸化亜鉛(ZnO)および酸化錫(SnO2 )から成るグループより選択し、(b)化学蒸着によって前記導電性酸化物の上に誘電体層を堆積させ、前記誘電体層は高誘電率を有するものとし、そして酸化タンタル(Ta2 O5 )、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3 )、およびチタン酸バリウム(BaTiO3)から成るグループより選択し、(c)前記誘電体層の上に対向電極を形成する、ことを特徴とするキャパシタを作製する方法。

IPC (4件)：

H01L 21/8242 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2件)：

H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/04 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-280347
  
• 特開平4-349657
  
• 特開昭61-251110