特許

J-GLOBAL ID：200903030203757389

非破壊検査装置

発明者： 大高 正廣 ,  清水 禎人 ,  高久 和夫 ,  坂田 信二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043811
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324021
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】検出ヘッド部の大きさを小さく、かつ微小な損傷を高精度に検出する非破壊検査装置を提供すること。【構成】SQUIDセンサの励磁マグネット,磁気検出部のピックアップコイル、及びSQUIDを分割構造とし、検出器に常電導のマグネットあるいはピックアップコイルを用いている。SQUIDセンサ全体を磁気シールドで覆う。励磁マグネットを常電導化し、種々の波形に励磁電流を印加できる供給電源装置を備える。SQUIDセンサを分離し、励磁マグネットを独立した機構で走査可能にする。励磁マグネットを極性の異なる1組以上のコイルでキャンセル方式とする。あるいは、励磁マグネットのバランスを電気的にフィードバックしてキャンセル方式とする。マグネット,ピックアップコイル、あるいはSQUID素子との連結をコネクタにて接続する。

請求項（抜粋）：

非破壊検査装置が、極性の異なる複数のコイルを組合せたキャンセル型コイルを備え、検査対象に磁界を印加する励磁マグネット;前記励磁マグネットによる磁界印加時における前記検査対象の磁気特性変化を検出するピックアップコイル;前記ピックアップコイルにより検出された磁気特性変化を電気信号に変換するSQUIDとからなる非破壊検査装置。

IPC (3件)：

G01N 27/83 ZAA ,  G01R 33/035 ZAA ,  G01R 33/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-221757
  
• 特開平2-078983
  
• 特開平1-119756