特許

J-GLOBAL ID：200903030206870003

試料分析および試料観察装置

発明者： 境 悠 治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-087752
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286663
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 試料ドリフトが発生しても、良好な試料分析または試料観察を行うことができる試料分析および試料観察装置を提供すること。【解決手段】 ドリフト検出手段20は、分析前に得られた画像データをメモリM11から読み出し、分析途中に得られた画像データをメモリM21から読み出す。ドリフト検出手段20は、それらの画像データを用いて、試料のドリフト量とドリフト方向を検出する。比較手段21は、前記検出されたドリフト量と、閾値とを比較する。その比較で、前記ドリフト量が前記閾値よりも小さいと判定されると、補正手段22は、ドリフト検出手段20で検出された試料ドリフトを補償するように電子線を偏向制御する。一方、前記ドリフト量が前記閾値よりも大きいと判定されると、補正手段22は、ドリフト検出手段20で検出された試料ドリフトを補償するように試料ステージ15を移動制御する。

請求項（抜粋）：

試料ステージ上に置かれた試料に1次線を照射し、その1次線照射により試料から発生した信号を検出して、試料分析または試料観察を行う装置において、前記試料上の所定領域の第1画像データを得、さらに、その第1画像データ取得から所定時間経過後に、前記試料上の所定領域の第2画像データを得る画像データ取得手段と、その画像データ取得手段で得られた前記第1画像データと第2画像データとを比較して、前記試料のドリフト量とドリフト方向とを検出するドリフト検出手段と、そのドリフト検出手段によって検出された前記ドリフト量と、予め設定された所定量とを比較する比較手段と、その比較手段において、前記ドリフト量が前記所定量よりも小さいと判定された場合には、前記ドリフト検出手段で検出された試料のドリフトを補償するように前記1次線を偏向させる一方、前記ドリフト量が前記所定量よりも大きいと判定された場合には、前記ドリフト検出手段で検出された試料のドリフトを補償するように前記試料ステージを移動させる補正制御手段を備えたことを特徴とする試料分析および試料観察装置。

IPC (3件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502

FI (3件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B

Fターム (21件)：

2G001AA03 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001FA29 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA07 ,  2G001GA08 ,  2G001JA03 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G001PA15 ,  2G001RA04 ,  5C033FF06