特許
J-GLOBAL ID:200903030211384125
プリントヘッドの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-326364
公開番号(公開出願番号):特開平10-278279
出願日: 1997年11月27日
公開日(公表日): 1998年10月20日
要約:
【要約】【課題】本発明は、複数の逆テーパ形状のオリフィス孔を目詰まりなく一括に、かつ孔径精度を高く形成する。【解決手段】複数のインク供給溝1の形成されたプリントヘッド10に対してポリイミドシート12を接着し、このポリイミドシート12の表面上に複数の開口が形成された金属マスク13を各インク供給溝1との位置決めを行って接着し、金属マスク13を通してKrFエキシマレーザ光の照射角度を変えてポリイミドシート12に照射し、このポリイミドシート12に逆テーパ形状のオリフィス孔27を形成する。
請求項(抜粋):
複数のインク供給溝の形成されたプリントヘッド筐体に対し、高分子材料から成る加工用プレートを接着する工程と、複数の開口が形成された金属部材を、これら開口と前記各インク供給溝とを位置決めして前記被加工用プレートの表面上に接着する工程と、前記金属部材をマスクとしてレーザ光を前記複数の開口を通して前記被加工用プレートに照射し、これら開口に対応して部分的に少なくとも前記被加工用プレート及び接着材を除去して複数のインク噴出孔を形成する工程と、を有することを特徴とするプリントヘッドの製造方法。
IPC (2件):
B41J 2/135
, B23K 26/00 330
FI (2件):
B41J 3/04 103 N
, B23K 26/00 330
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