特許

J-GLOBAL ID：200903030214003793

環境測定方法及び装置

発明者： 高柳 史一 ,  前田 泰宏
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003803
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194297
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 表面を活性化することが困難な赤外透過基板を用いる場合であっても、環境汚染物質の同定や濃度測定を行うことができる環境測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 第1の赤外透過基板10を測定環境中に曝し、第1の赤外透過基板を第2の赤外透過基板20に重ね合わせ、第2の赤外透過基板内に赤外線を入射して、第2の赤外透過基板の内部を多重反射した後に第2の赤外透過基板より出射される赤外線を検出し、検出した赤外線を分光分析することにより第1の赤外透過基板に付着している汚染物質の種類及び/又は付着量を測定し、第1の赤外透過基板に付着している汚染物質の種類及び/又は付着量に基づいて、測定環境中の汚染物質の種類及び/又は濃度を測定する。

請求項（抜粋）：

第1の赤外透過基板を測定環境中に曝し、前記第1の赤外透過基板を第2の赤外透過基板に重ね合わせ、前記第2の赤外透過基板内に赤外線を入射して、前記第2の赤外透過基板の内部を多重反射した後に前記第2の赤外透過基板より出射される前記赤外線を検出し、検出した前記赤外線を分光分析することにより前記第1の赤外透過基板に付着している汚染物質の種類及び/又は付着量を測定し、前記第1の赤外透過基板に付着している前記汚染物質の種類及び/又は付着量に基づいて、前記測定環境中の汚染物質の種類及び/又は濃度を測定することを特徴とする環境測定方法。

IPC (10件)：

G01N 21/27 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/04 ,  B01J 20/08 ,  B01J 20/10 ,  G01N 1/02 ,  G01N 1/22 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/59

FI (10件)：

G01N 21/27 C ,  B01J 20/02 A ,  B01J 20/04 A ,  B01J 20/08 A ,  B01J 20/10 A ,  G01N 1/02 A ,  G01N 1/22 L ,  G01N 21/01 B ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/59 D

Fターム (21件)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC12 ,  2G059CC20 ,  2G059DD01 ,  2G059DD02 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF06 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ21 ,  2G059KK10 ,  2G059LL02 ,  2G059MM01 ,  2G059PP04 ,  4G066AA02B ,  4G066AA20B ,  4G066CA01 ,  4G066DA03 ,  4G066GA11