特許
J-GLOBAL ID:200903030215087850
画像特徴学習型欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-198886
公開番号(公開出願番号):特開2004-038885
出願日: 2002年07月08日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】本発明は、複数の良品を撮影した複数の良品画像を用いて、画像内輝度変動と画像間輝度変動の両方に基づき、画像の各画素毎に適切な検出感度を自動設定する欠陥検出方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明の欠陥検出方法は、少なくとも一の良品画像から、参照画像としての良品平均画像と、画像中の各画素位置で参照画像と検査対象画像との輝度差分値を欠陥度に変換するフィルタとしての欠陥度ファジィメンバーシップ関数を、自動的に算出し、検査対象画像の中で、検出すべき欠陥サイズ内の欠陥度総和が基準値以上となる局所領域を欠陥と認識する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
参照画像と検査対象画像を比較して検査対象の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
少なくとも一の良品画像から参照画像としての良品平均画像を算出し、画像中の各画素位置での参照画像と検査対象画像の輝度差分値を、各画素位置での検査対象の欠陥の度合いを表わす欠陥度に変換する欠陥度ファジィメンバーシップ関数を作成する学習処理手順と、
参照画像と検査対象画像の各画素位置での輝度差分値に欠陥度ファジィメンバーシップ関数を適用し、得られた欠陥度が所定の基準を満たす局所領域を検査対象の欠陥として認識する検査処理手順と、
を有することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (2件):
FI (4件):
G06T7/00 350E
, G06T7/00 300E
, G06T7/00 350B
, G01N21/956 B
Fターム (19件):
2G051AA65
, 2G051AB07
, 2G051CA04
, 2G051EA12
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051ED11
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096BA18
, 5L096EA35
, 5L096FA32
, 5L096FA37
, 5L096GA08
, 5L096GA57
, 5L096HA07
, 5L096JA11
, 5L096JA18
, 5L096KA04
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