特許
J-GLOBAL ID：200903030215950311
平板状被検査体試験用ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-041442
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227811
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 針先に付着した金属屑が自然に除去されるようにすることにある。【解決手段】 試験用ヘッドは、針押えと、該針押えに配置された複数のプローブであって針押えに支持された針主体部および該針主体部に対し針押えと反対の側へ曲げられた針先部を有する複数のプローブと、該プローブの針主体部に対して針押えと反対の側に配置された弾性変形可能のガイド板とを含む。ガイド板はプローブの針先部を貫通可能に受け入れた複数の切欠部を有し、各プローブはその先端がガイド板の針主体部と反対の側の面から突出しない位置とされている。これにより、プローブの針先がガイド板から突出した後、元の位置に戻るとき、針先の金属屑をプローブおよびガイド板の共同作用により落す。
請求項（抜粋）：
針押えと、該針押えに配置された複数のプローブであって前記針押えに支持された針主体部および該針主体部に対し前記針押えと反対の側へ曲げられた針先部を有する複数のプローブと、該プローブの針主体部に対して前記針押えと反対の側に配置された弾性変形可能のガイド板とを含み、該ガイド板は前記プローブの針先部を貫通可能に受け入れた複数の切欠部を有し、各プローブはその先端が前記ガイド板の前記針主体部と反対の側の面から突出しない位置とされている、平板状被検査体試験用ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
